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发明名称 A BOARD FOR INTERRUPTING GAS FLOW
摘要
申请公布号 KR20060075596(A) 申请公布日期 2006.07.04
申请号 KR20040114404 申请日期 2004.12.28
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, HYUN TAK
分类号 H01L21/205;H01L21/02;H01L21/324 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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