| 发明名称 |
LEVER CONTROL SYSTEM FOR KNIFE EDGE RING OF DEVELOPER IN SEMICONDUCTOR PROCESSING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060075549(A) |
申请公布日期 |
2006.07.04 |
| 申请号 |
KR20040114354 |
申请日期 |
2004.12.28 |
| 申请人 |
DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
UHM, KYOUNG SAM |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/32;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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