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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING LEVEL OF LIQUID, AND APPARATUS FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100599058(B1) 申请公布日期 2006.07.04
申请号 KR20050021201 申请日期 2005.03.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SHIN, HEE SEOK
分类号 H01L21/20;G01F23/00 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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