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发明名称 METHOD FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING
摘要
申请公布号 KR20060075171(A) 申请公布日期 2006.07.04
申请号 KR20040113752 申请日期 2004.12.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, DONG KEUN;MIN, CHUNG KI;KO, YONG SUN;KIM, KYUNG HYUN
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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