| 发明名称 |
GAS SUPPLING APPARATUS FOR PROCESS OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060075448(A) |
申请公布日期 |
2006.07.04 |
| 申请号 |
KR20040114236 |
申请日期 |
2004.12.28 |
| 申请人 |
DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
JEONG, KI BEOM |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/02;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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