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经营范围
发明名称
PLASMA APPARATUS
摘要
申请公布号
KR20060075949(A)
申请公布日期
2006.07.04
申请号
KR20040115329
申请日期
2004.12.29
申请人
K.C.TECH CO., LTD.
发明人
RYU, KYUNG HO;KIM, TAE WOOK
分类号
H01L21/304;H01L21/02;H01L21/3065
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
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