| 发明名称 |
METHOD OF FORMING METAL LINE IN SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060075404(A) |
申请公布日期 |
2006.07.04 |
| 申请号 |
KR20040114185 |
申请日期 |
2004.12.28 |
| 申请人 |
HYNIX SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
SONG, PIL GEUN;LEE, SEUNG CHEOL |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/205;H01L21/3205 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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