发明名称 METHOD FOR CLEANING SILICON NITRIDE LAYER
摘要
申请公布号 KR20060076110(A) 申请公布日期 2006.07.04
申请号 KR20040115806 申请日期 2004.12.29
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KWON, DAE HEOK
分类号 H01L21/304;H01L21/302 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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