基板清洗系统与方法

摘要

本发明系有关于一种基板清洗系统，包括：一密闭清洗室；一洗液供应装置；一二氧化碳液体储存装置；一压力控制装置；一温度控制装置；以及一线上监测装置；其中，洗液供应装置系以一接管与二氧化碳液体储存装置相连，二氧化碳液体储存装置系以一连接管与压力控制装置相接，压力控制装置以一连通管与温度控制装置相接，再以一通管将温度控制装置与密闭清洗室连接，将超临界状态二氧化碳混合液体送入密闭清洗室中，并利用复数个超音波喷嘴，将混合液体喷送于基板上；且，线上监测装置系以一取样管与密闭清洗室相连。