细缝式涂布装置

摘要

一种细缝式涂布装置适用于涂布均匀膜层于基材上。此细缝式涂布装置包含基座、细缝式涂布喷嘴、挠曲垫片垫片及滚轮装置。细缝式涂布喷嘴位于基座上方。当涂布制程开始执行时，将可挠曲垫片覆盖于基材的两侧，并使细缝式涂布喷嘴将开始与结束的不均匀膜层，分别涂布于两垫片，而使均匀的膜层涂布于基材上。可挠曲之垫片藉由滚轮装置驱动而变更为其他未受污染的区域。