| 摘要 |
一种制造液晶显示器之装置的曝光布局，用于调节基板在曝光程序时的适当温度、减少制程时间与缩小台面面积，其主要元件包括有：穿越输送带，用于输送基板；第一机械手臂，安置在穿越输送带的基板装载面，用于接收涂布有光阻蚀刻剂的基板，再将基板输送至穿越输送带；软烤热板(SHP)，安置在穿越输送带的基板卸除面，用于移除基板的溶剂；冷板(CP)，用以降低已移除掉溶剂的基板的温度；缓冲器，用于暂时储存具降低温度的基板；第二机械手臂，安置在穿越输送带、软烤热板(SHP)、冷板(CP)与缓冲器的基板装载面之间，用于装载与／或卸除基板；温度控制单元，用于调节从缓冲器卸除的基板的温度；第三机械手臂，安置在缓冲器的基板卸除面、温度控制单元与曝光单元之间，用于装载与／或卸除基板。 |
