狭缝式涂布机及应用狭缝式涂布机制作液晶显示装置的方法

摘要

一种狭缝式涂布机及应用狭缝式涂布机制作液晶显示装置的方法，系利用狭缝喷嘴进行涂布溶液的涂布，可使涂布溶液的污染最小化，同时可对涂布溶液进行过滤，并可控制狭缝喷嘴涂布的感光涂布溶液的量。此一狭缝式涂布机更包含有一平台，用以固定待处理物件，一狭缝喷嘴单元，用以将涂布溶液涂覆于待处理物件的表面上，一涂布溶液供应装置，其包含有一储存槽，用以储存涂布溶液，一泵浦，将储存在储存槽内的涂布溶液供应至狭缝喷嘴单元；及一缓冲槽，用以与泵浦及储存槽进行液体流通。