| 摘要 |
一种表面检视设备，其中包含：一照明装置，此系照明一透过一预设图案构成制程所构成之图案，其中该制程包含一构成于一基板上之光阻层的曝光制程，而藉一线性极化光线曝光而具有一周期性；一设定装置，此系设定该基板之方向，使得该线性极化之振动平面与该图案之重复方向为相互倾斜；一撷出装置，此系将一具有一垂直于该线性极化之平面的振动平面之极化成分撷离于来自该图案之镜面反射光线；以及一影像构成装置，此系按照所撷出之光线来构成该基板表面的影像。在该图案构成制程内之一图案构成条件是依照由该影像构成装置所构成之基板表面影像的光线强度而标定。 |
