液晶面板检查装置

摘要

〔课题〕藉由吹附气体于检查平台所支撑之液晶面板的背面，抑制液晶面板的温度上升。〔解决手段〕液晶面板48系在其周边部，被检查平台之面板承受器14所支撑。液晶面板48的背面之至少一部分，露出于检查平台之内部空间64。喷嘴系开口于该内部空间64。从喷嘴62吹附空气68至液晶面板48的背面。而冷却液晶面板48之空气68系由排出空间28排出。而就算液晶面板48系以背光34照明，液晶面板48的温度也不太会升高。