| 摘要 |
一种可更正确判定缺陷是否在容许内的外观检查方法及装置。藉由与被检查体11a的图像21A的检查区域上而来的样板(21A)相比较，以判定抽出的缺陷是否在容许内。把检查区域区分成多个容许度为互不相同的a、b、c的区段28a、28b、28c。当检查区域上抽出的至少一个缺陷部位27跨容许度互不相同的多个区段28a、28b、28c而存在时，对存在各区段28a、28b、28c上的各缺陷部位部份27a、27b、27c，根据该区段28a、28b、28c的容许度a、b、c，预备判定缺陷部位部份的缺陷是否在所在区段的容许内。根据此些预备判定的结果，来判定缺陷部位27的缺陷是否在容许内。 |
