对准资讯显示方法及记录有其程式之记录媒体、对准方法、曝光方法、元件制造方法、显示系统、显示装置、测量装置及测量方法

摘要

为提供一种对准资讯显示方法，能有效率地进行对准结果的分析和评价，藉此可以容易地设定有效的对准条件和参数。本发明之对准资讯显示方法，系输入有关对准测量的处理结果资料，并输入对准测量的参数相关资讯，然后根据所输入参数，从处理结果资料求出显示对象资讯，将求出之期望的显示对象资讯，以能明示对准测量的影响之显示形态来显示。因此，设定期望的条件，藉该设定条件的分析结果，即，因该设定条件所产生的影响可易于确认。因此，利用者可易于检测出最佳的对准条件和参数。