可调式光衰减器及其制造方法

摘要

一种可调式光衰减器，包括有基材、悬臂式光波导结构和第一电极。其中，基材上具有耦合区城，悬臂式光波导结构系跨越耦合区域而配置于基材上，而第一电极配置于耦合区域以外之基材上。承上述，悬臂式光波导结构能够藉由第一电极的牵引而与耦合区域接触，以将光耦合至基材。此外，吾人亦提出一种可调式光衰减器之制造方法。