抵销非对称光瞳照明之滤光装置

摘要

本发明系一种用于照明系统的滤光装置，尤其是一种于修正照明光瞳之照明的滤光装置，这种滤光装置具有一个光源，照明系统从光源到物平面被一照明光束穿过，且在这个过程中照明光束会照射到滤光装置，这种滤光装置具有至少一个可以设置在照明光束的光程内的滤光元件，同时滤光元件具有一个调整装置，这个调整装置可以将滤光元件调整到在照明光束内的不同的位置。