摘要 |
一种固态摄影装置,具备:复数个感光单元,系以矩阵状配置于半导体基板(1)上,分别具有光二极体;以及周边驱动电路,系具有复数个电晶体,用来驱动复数个感光单元。作为复数个电晶体,具备有以第1扩散层(2)(系被传送对应该光二极体所产生之讯号电荷之讯号电位并予以保持)当作源极及或汲极之第1电晶体、及以第2扩散层(未被传送该讯号电位)为源极及汲极之第2电晶体。金属矽化物层(4)(形成于第1电晶体中之第1扩散层表面)端缘与闸极(6)端缘间之边缘间隔(D1)系较金属矽化物层(形成于第2电晶体中之第2扩散层表面)端缘与闸极端缘间之边缘间隔为大。能抑制周边驱动电路之电晶体的漏电流,以高精度保持所拍摄之影像资讯。 |