| 主权项 |
1.一种可冲洗容器(10),用于高纯度化学品供给系统 中所用的低蒸气压的高纯度的化学品,该容器包括 : (a)容器(10),用于容纳一定量的所述低蒸气压的高 纯度的化学品,其具有至少两个能够接收或分配所 述低蒸气压的高纯度的化学品的埠(11,13); (b)第一隔断隔膜阀元件(14),具有第一隔膜阀(75)和 第二隔膜阀(77),每个隔膜阀具有隔膜(74a)且具有阀 座侧(78a)和隔膜侧(88),其中每一隔膜阀(75)的阀座 侧(78a)与另一隔膜(74)的另一阀座侧(78)并置,且每 一隔膜阀(75,77)的每一阀座侧被设置成使所述高纯 度化学品供给系统的导管(16)与低蒸气压的高纯度 化学品流体连通,所述第一隔膜阀(75)的隔膜侧(88) 与所述至少两个埠的第一埠(13)流体连通,所述第 二隔膜阀(77)的所述隔膜侧被设置成与导管(18)流 体连通,所述导管(18)能起到真空源或排气源的作 用; (c)第二阀装置(114),该第二阀装置与导管(118)流体 连通,所述导管(118)能起到选自如下的功能:推动气 体源,真空源,分配低蒸气压的高纯度的化学品; (d)所述第二埠(11)与所述容器(10)流体连通,并且能 够起到选自如下的功能:通向所述容器(10)的真空 源,向所述容器(10)供给推动气体,从所述容器(10)将 低蒸气压高纯度的化学品分配到推动气体中。 2.如申请专利范围第1项所述的容器,其中,所述第 二隔膜阀的所述阀座侧与用于高压力冲洗气体源 的导管流体连通,所述冲洗气体被用于从潮湿表面 上清除剩余的低挥发性化学品,进入通过容器埠或 排气/真空埠的排气或真空中。 3.如申请专利范围第2项所述的容器,其中,所述第 二阀装置(114)与用于真空源(122)的导管(118)流体连 通。 4.如申请专利范围第1项所述的容器,其中,所述第 二阀装置(114)与导管(118)流体连通,该导管(118)用于 分配低蒸气压的高纯度化学品。 5.如申请专利范围第1项所述的容器,其中,所述第 二隔膜阀(77)的所述隔膜侧与用于真空源的导管(18 )流体连通。 6.如申请专利范围第1项所述的容器,其中,所述第 二隔膜阀(77)的所述隔膜侧与用于排气源的一导管 (18)形成流体连通。 7.如申请专利范围第5项所述的容器,其中,所述第 二阀装置(114)与用于冲洗气体的导管(126)形成流体 连通。 8.一种可冲洗容器(400),用于高纯度化学品供给系 统所用的低蒸气压的高纯度化学品,该可冲洗容器 包括: (a)容器(400),用于容纳一定量的所述低蒸气压的高 纯度化学品,该容器(400)具有至少两个能够接收或 分配所述低蒸气压的高纯度化学品的埠(410,412); (b)第一隔断隔膜阀元件(442),该第一隔断隔膜阀元 件具有第一隔膜阀(MV3)和第二隔膜阀(AV4),每一隔 膜阀具有一隔膜且具有一阀座侧和一隔膜侧,其中 每一隔膜阀的阀座侧与另一隔膜的另一阀座侧并 置,每一隔膜阀的每一阀座侧被设置成使所述高纯 度化学品供给系统的导管与低蒸气压的高纯度化 学品流体连通,所述第一隔膜阀(MV3)的隔膜侧与所 述至少两个埠中的第一埠(412)形成流体连通,所述 第二隔膜阀(AV4)的所述隔膜侧被设置成与导管(434) 流体连通,该导管(434)能够起到真空源或排气源的 作用; (c)另一隔断隔膜阀元件(418),该隔断隔膜阀元件具 有两个隔膜阀(MV1,AV2),每一隔膜阀具有一隔膜且具 有一阀座侧和一隔膜侧,其中每一隔膜阀的阀座侧 与另一隔膜阀的另一阀座侧并置,且每一隔膜阀的 每个阀座侧与第二导管流体连通,所述两个隔膜阀 中的一个所述隔膜侧(MV1)与所述至少两个埠中的 第二埠(410)流体连通,所述两个隔膜阀中的另一个 隔膜阀(AV2)的所述隔膜侧与导管(434)流体连通,该 导管(434)能够起到真空源或排气源的作用; (d)所述第二埠(410)与所述容器(400)流体连通,并且 能够起到选自如下的功能:把推动气体供给到所述 第一容器,真空源,或从所述容器(400)将低蒸气压高 纯度的化学品分配到推动气体中。 9.一种可冲洗容器(400),用于高纯度化学品供给系 统中所用的低蒸气压高纯度的化学品,该可冲洗容 器包括: (a)容器(400),该容器用于容纳一定量的所述低蒸气 压高纯度的化学品,其具有至少两个能够接收或分 配所述低蒸气压高纯度的化学品的埠(410,412); (b)第一隔断隔膜阀元件(442),该第一隔断隔膜阀元 件具有第一隔膜阀(MV3)和第二隔膜阀(AV4),每一隔 膜阀具有隔膜且具有阀座侧和隔膜侧,其中每一隔 膜阀的阀座侧与另一隔膜的另一阀座侧并置,每一 隔膜阀的每一阀座侧被设置成使所述高纯度化学 品供给系统的分配导管(446)与低蒸气压高纯度化 学品流体连通,且所述第一隔膜阀(MV3)的隔膜侧与 所述至少两个埠中的第一埠(412)和汲取管(414)流体 连通,所述第二隔膜阀(AV4)的所述隔膜侧被设置成 与导管(434)流体连通,所述导管(434)能够起到真空 源或排气源的功能; (c)第二阀装置(418),该第二阀装置被设置成与推动 气体源和/或真空源流体连通;和 (d)所述第二埠(410)与所述容器(400)流体连通,并且 能够向所述容器(400)供给推动气体和/或真空。 10.一种可冲洗容器(400),用于高纯度化学供给系统 所用的低蒸气压高纯度化学品,该可冲洗容器包括 : (a)容器(400),用于容纳一定量的所述低蒸气压高纯 度的化学品,并且该容器具有至少两个能够接收或 分配所述低蒸气压高纯度化学品的埠(410,412); (b)第一隔断隔膜阀元件(442),该第一隔断隔膜阀元 件具有第一隔膜阀(MV3)和第二隔膜阀(AV4),每一隔 膜阀具有隔膜且具有阀座侧和隔膜侧,其中每一隔 膜阀的阀座侧与另一隔膜的另一阀座侧并置,且每 一隔膜阀的每一阀座侧被设置成与用于起泡气体 的导管(446)流体连通,且所述第一隔膜阀的隔膜侧 与所述至少两个埠中的第一埠(412)流体连通,且所 述第二隔膜阀(AV4)的所述隔膜侧被设置成与真空 源或排气源流体连通; (c)另一隔断隔膜阀元件(418),该隔断隔膜阀元件(418 )具有两个隔膜阀(MV1,AV2),每一隔膜阀具有隔膜且 具有阀座侧和隔膜侧,其中每一隔膜阀的阀座侧与 另一隔膜阀的另一阀座侧并置,且每一隔膜阀的每 一阀座侧被设置成与第二导管流体连通,且所述两 个隔膜阀的一个隔膜阀(MV1)的所述隔膜侧与所述 两个埠中的第二埠(410)流体连通,且所述两个隔膜 阀中的另一个隔膜阀(AV2)的所述隔膜侧被设置成 与排气或真空源(434)流体连通; (d)所述第二埠(410)与所述容器(400)流体连通,并且 能够从所述容器(400)将低蒸气压的高纯度化学品 分配到推动气体中。 图式简单说明: 图1A为在容器的一个埠上具有隔断隔膜阀元件的 本发明第一实施方案的简图。 图1B为在容器的入口及出口具有几组隔断隔膜阀 元件的本发明第二实施方案的简图。 图2A为在本发明的每一实施方案中所使用的具有 两个隔膜阀的隔断阀元件的部分横截面图。 图2B为图2A中的隔断隔膜阀元件的等大分解图,显 示了从该隔断隔膜阀元件中去掉了隔膜和气动致 动器。 图3为在本发明的第一导管中所使用的低死角连接 器的部分横截面图。 |
