用于移除表面沈积物之远室(REMOTE CHAMBER)方法

摘要

本发明系关于一种经改良之远端电浆清洗方法，其系用于自一表面(诸如在制造电子装置中使用之沉积室的内部)移除表面沉积物。该改良涉及对自该远室至该等表面沉积物之路径内部表面进行的富含氟碳化合物电浆预处理。