由铝基材中选择性移除金属之溶液

摘要

本发明系关于一种自基材如含铝基材选择性移除金属如Ta或TaN之溶液。此溶液包含酸如HF或缓冲HF、包含氟离子如氟化铵(NH4F)之成分、乙二醇及水。亦揭示一种使用此溶液自基材选择性移除金属之方法。