| 发明名称 |
含氟聚合性化合物,其制造方法,自此化合物所得之高分子化合物,光阻材料及使用其之图型形成方法 |
| 摘要 |
本发明提供一种下述一般式(1)表示之含氟化合物。094135231-p01.bmp094135231-p02.bmp(式中，R^1及R^2为氢原子，或碳数1～20之直链状、支链状或环状之烷基或氟化烷基；R为氢原子或保护基)。使用本发明之高分子化合物之光阻材料，具有在ArF曝光中之优异解像性，甚小之线边缘粗糙度、优越之蚀刻性，尤其蚀刻后之表面粗糙度极小之特性。094135231-p01.bmp |
| 申请公布号 |
TW200621813 |
申请公布日期 |
2006.07.01 |
| 申请号 |
TW094135231 |
申请日期 |
2005.10.07 |
| 申请人 |
信越化学工业股份有限公司 |
发明人 |
原田裕次;山润;渡边武;金生刚 |
| 分类号 |
C08F20/28;C07D309/08;G03F7/039;H01L21/027 |
主分类号 |
C08F20/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
|
| 地址 |
日本 |
