| 摘要 |
本发明的课题在于提供可确实防止清洗区域的清洗液、清洗气体向非清洗区域泄漏之情况的工件运送装置。一种用于在工件的清洗时运送工件的工件运送装置，该工件运送装置包括滚轮运送轴(5)，该滚轮运送轴(5)设置于在透过隔壁(3)和盖与外部隔离的处理槽(2)的内部，分别具有滚轮(6)；被动侧磁铁(11)，该被动侧磁铁(11)安装于该滚轮运送轴(5)的前端部；驱动侧磁铁(15)，该驱动侧磁铁(15)在上述处理槽(2)的外侧，透过将形成于上述隔壁(3)的通孔(14)封闭的薄膜(13)，按照与上述被动侧磁铁(11)对向的方式设置；驱动轴(20)，该驱动轴(20)与该驱动侧磁铁(15)连接；传动轴(18)，该传动轴(18)透过蜗轮(21)与驱动轴(20)连接；连接有传动轴(18)的电动机(19)。 |
