纵型热处理装置及其使用方法

摘要

本发明之纵型热处理装置，其特征在于具有：处理容器，其收容被处理体；主加热器，其以包围上述处理容器之周围之方式而设置，加热上述处理容器并且具有急速冷却功能；排气口部，其于上述处理容器之上部弯曲形成；辅助加热器，其为加热上述排气口部而设置；移动机构，其于上述主加热器急速冷却时，用以使上述辅助加热器自上述排气口部撤离；及强制排气机构，其用以强制排出上述排气口部周边之环境气体。