| 摘要 |
用以解决透明板状体增大而连带使检查性能劣化的知技术问题。具有：使用具有配设在透明板状体1之主表面侧的线状光源2及相机3的第1反射型明视野光学系，来拍摄透明板状体1之主表面的影像(以下称为第1影像)的步骤、和以同样的来拍摄透明板状体1之背面的影像(以下称为第2影像)的步骤、和针对第1及第2影像的各个来探索缺陷候补的步骤、和根据该探索的结果来确认在第1及第2影像之互相对应的位置是否有缺陷候补，由第1及第2影像之两者看见缺陷候补的时候，将该缺陷候补视为缺陷，只由第1及第2影像之一者看见缺陷候补的时候，将该缺陷候补视为拟似缺陷的步骤。 |
