利用超临界流体处理基板之方法及系统

摘要

一种利用高温制程而以超临界流体处理基板之方法与系统。例如当超临界流体包含在超临界状态中之二氧化碳时，该高温制程系于温度约等于或大于80℃时施行，此温度比临界温度高出约31℃。