喷墨头之喷墨单元及其制造方法、喷墨组件及喷墨系统

摘要

一种喷墨头之喷墨单元系整合一墨水通道晶圆至CMOS晶圆，CMOS晶圆具有加热元件形成于其中。一具有喷嘴开口之喷嘴薄膜系形成在CMOS晶圆之背部，以允许二维方向之墨水从CMOS晶圆之背部喷出。