| 摘要 |
提供一种形成层间绝缘膜用之放射线敏感性树脂组成物，其能够形成解析度高，能够充分厚膜化，且透明性、耐热性、密合性、耐溶剂性等各种物性都优良的层间绝缘膜，并提供由该树脂组成物形成的层间绝缘膜。形成层间绝缘膜用之放射线敏感性树脂组成物特征在于包括(A)将(a)10～50重量％含酸性官能团的聚合性不饱和化合物、(b)20～60重量％含脂环状烃基而无酸性官能团的聚合性不饱和化合物以及(c)5～40重量％其他聚合性不饱和化合物聚合所得的硷可溶性共聚物；(B)聚合性不饱和化合物；(C)光聚合引发剂；以及(D)偶合剂。层间绝缘膜由该形成层间绝缘膜用之放射线敏感性树脂组成物形成。 |
