研磨用组成物及其研磨方法

摘要

一种研磨用组成物，包含有如矽溶胶的一研磨料、至少一化合物选自咪唑及一咪唑衍生物、及水。研磨用组成物较佳更包含一硷金属化合物、一水溶性聚合物、或一螯合剂。研磨用组成物适于研磨物体，如半导体基材，之一边缘。