修补滤光图案与光罩图案之缺陷的方法

摘要

本发明提供一种修补图案(如滤光图案或光罩图案)之缺陷的方法，其包含利用一雷射光束去除一突起缺陷(tokki defect)，使图案形成一缺口，再将一修补乾膜(repairing dry film)置放于图案上，且修补乾膜覆盖图案与缺口，接着进行一转印制程，将位于缺口上之修补乾膜转印至缺口内，以及移除未被转印至缺口内之修补乾膜。