感放射线性树脂组成物

摘要

本发明之感放射线性(感光性)树脂组成物为含有具有硬化性之硷可溶性树脂(A)、重氮(quinonediazide)化合物(B)、溶剂(C)及聚矽氧(silicone)系界面活性剂(D)之感放射线性树脂组成物，其中聚矽氧系界面活性剂(D)为含有HLB(Hydrophile Lipophile Balance，亲水亲油性平衡)值在1至9之聚矽氧系界面活性剂(D1)，与HLB值超过9之聚矽氧系界面活性剂(D2)的聚矽氧系界面活性剂。