修补图案之缺陷的方法

摘要

本发明提供一种修补图案之缺陷的方法，首先进行一压膜制程，将一薄膜转印于图案与缺陷上，再去除位于缺陷上方之薄膜，将一修补涂料涂布于缺陷上，接着对该修补涂料进行一固化(curing)制程，以及移除薄膜。