使用臭氧以处理如晶圆之物件

摘要

本发明系关于以臭氧处理如晶圆之物件(例如，具有经曝露铜之特征及／或包括低k介电材料)的方法。在某些较佳实施例中，硷亦系用于处理该(该等)如晶圆之物件。