过氧水溶液的纯化方法,所制得之溶液及彼之用途

摘要

过氧水溶液之纯化方法，包括用(a)至少一膜纯化步骤，(b)视需要的至少一离子交换纯化步骤，(c)视需要的至少一稀释步骤，与(d)至少一其他纯化步骤处理过氧水溶液，所有彼等步骤可用任何顺序进行。以此方法可以得到具有低于1毫克／仟克的TOC含量之过氧水溶液。彼等可用于半导体的制造中。