发明名称 Semiconductor device comprising FinFET and fabricating method thereof
摘要
申请公布号 KR100594282(B1) 申请公布日期 2006.06.30
申请号 KR20040049003 申请日期 2004.06.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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