TRANSDUCTEUR A ULTRASONS MICRO-USINE CAPACITIF FABRIQUE AVEC MEMBRANE DE SILICIUM EPITAXIALE

摘要

Il est proposé une cellule de transducteur à ultrasons micro-usiné capacitif (cMUT) (10). La cellule cMUT (10) comprend une électrode inférieure (18). En outre, la cellule cMUT (10) comprend une membrane (22) placée adjacente à l'électrode inférieure (18) de manière à former un espacement ayant une première largeur d'espacement entre la membrane (22) et l'électrode inférieure (18), la membrane (22) comprenant soit une première couche épitaxiale soit une première couche de polysilicium. De plus, un matériau réducteur de contrainte est placé dans la première couche épitaxiale.