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发明名称 A MEMS structure and method for fabricating the same
摘要
申请公布号 KR100593915(B1) 申请公布日期 2006.06.30
申请号 KR20040046014 申请日期 2004.06.21
申请人 发明人
分类号 B81B7/02;B81C1/00;H01L21/00;H01L27/14 主分类号 B81B7/02
代理机构 代理人
主权项
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