发明名称 A method of fabricating SOI wafer
摘要
申请公布号 KR100596093(B1) 申请公布日期 2006.06.30
申请号 KR20030092727 申请日期 2003.12.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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