| 发明名称 |
KUPPLUNGSANORDNUNG FÜR DIE GESCHLOSSENE ÜBERTRAGUNG VON EINEM FLACHEN SUBSTRAT VON EINEM GESCHLOSSENEN BEHÄLTER ZU EINER BEHANDLUNGSEINRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69734104(T2) |
申请公布日期 |
2006.06.29 |
| 申请号 |
DE1997634104T |
申请日期 |
1997.04.02 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS |
发明人 |
DOCHE, CLAUDE |
| 分类号 |
B65G49/00;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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