VORRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG EINES BANDFÖRMIGEN MATERIALS IN EINEM PLASMA-UNTERSTÜTZTEN PROZESS,申请号DE20035003504-传众专利搜索

发明名称	VORRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG EINES BANDFÖRMIGEN MATERIALS IN EINEM PLASMA-UNTERSTÜTZTEN PROZESS
摘要
申请公布号	DE50303504(D1)	申请公布日期	2006.06.29
申请号	DE20035003504	申请日期	2003.09.09
申请人	TETRA LAVAL HOLDINGS & FINANCE S.A., PULLY	发明人	FAYET, PIERRE;JACCOUD, BERTRAND
分类号	H01J37/32;C23C14/35;C23C14/56;H01J37/34	主分类号	H01J37/32
代理机构		代理人
主权项
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