发明名称 |
All surface data for use in substrate inspection |
摘要 |
A system for capturing, calibrating and concatenating all-surface inspection and metrology data is herein disclosed. Uses of such data are also disclosed.
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申请公布号 |
US2006142971(A1) |
申请公布日期 |
2006.06.29 |
申请号 |
US20050296645 |
申请日期 |
2005.12.07 |
申请人 |
REICH DAVID;DURDEN KENNETH;SHAY RANDALL |
发明人 |
REICH DAVID;DURDEN KENNETH;SHAY RANDALL |
分类号 |
G06F17/50;G01C17/00;H01L21/66 |
主分类号 |
G06F17/50 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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