发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Betrieb einer Plasmaeinrichtung
摘要 Es wird ein Verfahren zum Betrieb einer Plasmaeinrichtung (100) beschrieben, in der in einem Plasma Partikel (2) angeordnet sind, wobei eine Erzeugung von elektrischen Wanderwellen (1) vorgesehen ist, unter deren Wirkung die Partikel (2) in der Plasmaeinrichtung (100) eine gerichtete Bewegung zu mindestens einem vorbestimmten Sammlungsbereich (20, 20A) ausführen. Es wird auch eine Plasmaeinrichtung zur Durchführung des Verfahrens beschrieben.
申请公布号 DE102004060377(A1) 申请公布日期 2006.06.29
申请号 DE200410060377 申请日期 2004.12.15
申请人 MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V.;KAYSER-THREDE GMBH 发明人 MORFILL, GREGOR;THOMAS, HUBERTUS M.;KONOPKA, UWE;JACOB, WOLFGANG;ANNARATONE, BEATRICE;FINK, MARTIN;SATO, NORIYOSHI;SHIMIZU, TETSUJI;STUFFLER, TIMO
分类号 H01J37/32;C23C16/50;H05H1/46 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
地址