Method for fabricating a germanium on insulator (geoi) type wafer
摘要
申请公布号
SG122908(A1)
申请公布日期
2006.06.29
申请号
SG20050007154
申请日期
2005.11.18
申请人
S.O.I. TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES S.A.;COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC DE CARACTERE SCIENTIFIQUE, TECHNIQUE ET INDUSTRIEL
