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发明名称 KERAMISCHER HEIZER.
摘要
申请公布号 DE60022495(T2) 申请公布日期 2006.06.29
申请号 DE20006022495T 申请日期 2000.08.01
申请人 IBIDEN CO.,LTD. 发明人 ITO, YASUTAKA;HIRAMATSU, YASUJI
分类号 H05B3/20;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/30;H05B3/10;H05B3/14;H05B3/16;H05B3/18;H05B3/26;H05B3/28;H05B3/56;H05B3/68;H05B3/74 主分类号 H05B3/20
代理机构 代理人
主权项
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