发明名称 |
THERMALLY STABLE MULTILAYER MIRROR FOR THE EUV SPECTRAL REGION |
摘要 |
<p>Bei einem Multilayer-Spiegel (1) zur Reflexion von EUV- Strahlung, der eine Mehrzahl alternierender Molybdänschichten (4) und Siliziumschichten (3) enthält, ist an mehreren Grenzflächen zwischen den Molybdänschichten (4) und den Siliziumschichten (3) jeweils eine Barriereschicht (5) angeordnet, die ein Siliziumnitrid oder ein Siliziumborid enthält. Durch die Barriereschichten (5) aus einem Siliziumnitrid oder einem Siliziumborid wird eine hohe thermische Stabilität, insbesondere eine hohe Langzeitstabilität bei Temperaturen von mehr als 3000C, bei gleichzeitig hoher Reflexion des Multilayer- Spiegels erreicht. Ein derartiger Multilayer-Spiegel (1) kann insbesondere als heizbarer Kollektorspiegel einer EUV- Strahlungsquelle verwendet werden.</p> |
申请公布号 |
WO2006066563(A1) |
申请公布日期 |
2006.06.29 |
申请号 |
WO2005DE02315 |
申请日期 |
2005.12.23 |
申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;BENOIT, NICOLAS;FEIGL, TORSTEN;KAISER, NORBERT;YULIN, SERGIY |
发明人 |
BENOIT, NICOLAS;FEIGL, TORSTEN;KAISER, NORBERT;YULIN, SERGIY |
分类号 |
G02B5/08;G02B1/10;G21K1/06 |
主分类号 |
G02B5/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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