发明名称 Vorrichtung zum Vakuumaufdampfen duenner Schichten mittels Elektronenbeschuss
摘要
申请公布号 DE1269859(B) 申请公布日期 1968.06.06
申请号 DE19631269859 申请日期 1963.06.14
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT M.B.H. 发明人 STEMME DIPL.-PHYS. OTTO
分类号 C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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