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发明名称
Verfahren zur Herstellung eines Aggregats von Mikro-Nadeln aus Halbleitermaterial und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements mit einem solchen Aggregat
摘要
申请公布号
DE69434745(D1)
申请公布日期
2006.06.29
申请号
DE1994634745
申请日期
1994.11.02
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人
ERIGUCHI, KOJI;KUBOTA, MASAFUMI;NIWA, MASAAKI;NOMURA, NOBORU
分类号
B81B3/00;G01Q70/10;G01Q70/16;G02B6/12;G02B6/124;G11C23/00;H01H1/00;H01L21/30;H01L21/308;H01L27/15;H01L31/0352;H01L31/18;H01L33/10;H01L33/18
主分类号
B81B3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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