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发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterspeichereinrichtung
摘要
申请公布号 DE10131491(B4) 申请公布日期 2006.06.29
申请号 DE20011031491 申请日期 2001.06.29
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 BRUCHHAUS, RAINER;ENDERS, GERHARD;HARTNER, WALTER;KASKO, IGOR;KROENKE, MATTHIAS;MIKOLAJICK, THOMAS;NAGEL, NICOLAS;ROEHNER, MICHAEL;WEINRICH, VOLKER
分类号 H01L21/8239;H01L21/02;H01L21/8242 主分类号 H01L21/8239
代理机构 代理人
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