借助离子迁移率谱法测量氮气、氢气和氧气中的杂质浓度的方法

摘要

本发明描述了一种借助离子迁移率谱定量地分析氮气、氢气或氧气中的杂质浓度的方法，该方法是，利用氩气或者不含杂质且由要分析的气体与氩气组成的混合物作为离子迁移率谱仪隔离区中的逆流气体。

主权项

1.一种借助离子迁移率谱测量氮气、氢气或氧气中的杂质浓度的方法，包括在离子迁移率谱仪的隔离区采用纯氩或者氩气与分析样品中载气的混合物作为逆流气体，所述混合物不含杂质，并在氩气/氮气混合物情况下，按体积计至少含80％的氩气；在氩气/氢气的情况下，按体积计至少含50％的氩气；或者在氩气/氧气混合物情况下，至少含50％的氩气，并且根据要分析的样品，所述逆流气体与所述样品的流速比率，在分析氮气的情况下等于或高于5；在分析氢气的情况下等于或高于10；或在分析氧气的情况下介于0.3到1.5之间或介于6到10之间。